Instec的方形溫控晶圓夾盤系統是為晶圓和半導體測試設計的。根據客戶的需求有不同尺寸、不同溫度段的型號供選。並有檯面電接地/電懸空,還有同軸/三同軸介面的細節差異。
溫控晶圓夾盤的檯面溫度梯度很低,並且厚度設計的很薄,可以集成進探針台。並且台體設有真空吸氣槽,可以利用負壓來吸附樣品。
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HCS302G的特色是氣密性腔室。能同時進行對樣品的溫控、氣氛控制和光學觀察。腔內能充入保護氣體,從而冷熱台即使在 -190℃ 這樣的極地溫度條件下,也不會產生結霜,避免影響顯微鏡等儀器的觀察。 另外,腔內的保護性氣氛,也能避免實驗時樣品發生氧化。HCS302G還有樣品XY移動型號,支援對樣品位置作好定位。*支持定制
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HS1400是溫度可達1400℃的熱台,適用于制陶、冶金、地質、高溫材料等領域。冷熱台內默認為氣密腔,充入保護氣體可防止樣品高溫時發生氧化。 HS1400還可升為真空腔,腔室內可抽真空,也可充入保護氣體,並支持抽真空後通入氣氛這樣的複雜操作。HS1400還有樣品XY移動型號,支援對樣品位置作好定位。*支持定制
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使用光電手段進行液晶面板的視角、響應時間、色溫、透射/反射光譜測試。*支持定制
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HCP622G-PS是探針外部移動式的溫控探針台。設備包含4個可從外部進行三軸移動的探針機構。這種設計適用於需要在移動點針位置的實驗應用。 HCP622G-PS的溫度範圍為 -190℃ ~ 600℃。上蓋帶有可供顯微鏡觀察的視窗。設備使用時還可對樣品氣氛進行控制。這樣即使在低溫度下,腔體也不產生結霜影響實驗,又可以防止樣品發生氧化。*支持定制
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為企業客戶客戶品質控制需求,Instec提供適用55英寸面板的冷熱平板,用於對真實面板進行檢測。 冷熱平板採用接觸式加熱,加熱迅速,溫度精度和均勻性好。設備使用方便,足以取代笨重、操作有風險性、步驟複雜的大型溫控腔。*支持定制
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HCP622G是應用廣的冷熱平板,適用於反射光光路的觀察。冷熱平板能同時進行溫度控制、氣氛控制、樣品電測試和光學觀察。 HCP622G的腔內能充入保護氣體,還支持在腔內安裝接線柱。從而實現對密閉腔室裡的樣品進行電測試。*支持定制
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TS102W是一款基于半导体(帕尔贴)温控的经济型冷热台,温度范围 -30℃~90℃,特点是观察窗孔很大,支持高达60°的出入射角度。适合大角度光路应用,比如X射线衍射实验。 相比传统的电热丝加热方式,TS102W这类的帕尔贴冷热台温控准,使用方便,并且在样品区不大时成本降低。 TS102的另一个特色是可以将载玻片作为样品,从侧面直接送入腔室,并可通过XY移动尺对样品位置作好定位,使用方便。另外,黑色的台体可以避免反光,适合集成在不同光路中,使用搭配很自由。*支持定制
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HCS421V是應用廣的氣密型冷熱台。能進行 -190℃~400℃ 範圍的樣品控溫,並同時進行氣氛控制和光學觀察。腔室內可抽真空,也可充入保護氣體。這樣即使在低溫度下,冷熱台也不產生結霜影響顯微鏡等儀器的觀察,又可以防止實驗時樣品發生氧化。 HCS421V支援多種步驟複雜的應用,例如冷凍乾燥實驗,抽真空後通入氣氛,等等。其還有樣品XY移動型號,支持對樣品位置作好定位。*支持定制