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产品详情

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HCP421V-MPS 溫控探針臺

HCP421V-MPS Instec的真空型mini臺式探針臺系列是可從外部移動探針進行點針的桌上型探針臺,涵蓋多型號、多溫度範圍。同時允許溫控、探針電測試、光學觀察和樣品氣體環境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔,亦可內充入氮氣等保護氣體,來防止樣品在負溫下結霜,或高溫下氧化。
细节展示:
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功能特點

 

mini型溫控探針臺,可集成到光學設備

可編程控溫,涵蓋-190℃~1000℃(具體由型號而定)

適用 10 mm  ~ 50 mm 晶圓和器件

可抽真空的腔體,亦可充入保護氣體使用

獨立的四個探針,可從設備外部移動探針進行點針

可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK

*可做定制或改動,詳詢sungame集团

溫控參數

 

溫度範圍

-190℃~400℃(負溫需配液氮制冷)

加熱塊材質

傳感器/溫控方式

升溫速率

100Ω鉑RTD / PID控制(含LVDC降噪電源)

≤30℃/min(at 100℃)

溫控速度

≥±0.01℃/min

溫度分辨率

0.01℃              RTD傳感器

溫度穩定性

±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃)

軟件功能

可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線

電學參數

 

探針

默認為錸鎢材質的彎針探針

探針座

可從外部XYZ移動的探針臂

粗調模式+微調模式,

點針

從外部移動點針,每個探針座都可點到樣品區上任意位置

探針接口

默認為BNC接頭,可選三同軸接口

樣品臺面電位

默認為電接地,可選電懸空(作背電極),可選三同軸接口

光學參數

 

適用光路

反射光路

窗片

可拆卸與更替的窗片

物鏡工作距離

≥12 mm

上蓋窗片觀察

窗片範圍φ50mm,≤視角±40° 

負溫下窗片除霜

吹氣除霜管路

結構參數

 

適用樣品

10 mm ~   50 mm 直徑 (標準)

樣品腔高

8 mm

探針座

可從外部XYZ移動的探針臂

粗調模式+微調模式,XY粗調20mm

XY微調行程10mm,Z微調 3mm

氣氛控制

真空腔,也可充入保護氣體

外殼冷卻

可通循環水,以維持外殼溫度在常溫附近

臺體尺寸/重量

300 mm  x 300 mm x 40 mm / 4kg

配置列表

 

基本配置

真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器

可選配件

安裝支架、液氮制冷系統、外殼循環水冷系統、顯微鏡頭、

真空系統、測試源表、三同軸BNC、臺面電懸空、樣品接電引線

可選型號

 

TP102SV-MPS

溫度範圍 -30℃  ~ 160℃,樣品區,40mm*40mm

HCP421SV-MPS

溫度範圍 -190℃ ~ 400℃,樣品區 28mm*30mm

HCP402SV-MPS

溫度範圍 -190℃  ~ 400℃,樣品區 50mm*50mm

HP1000SG-MPS

溫度範圍 35℃  ~ 1000℃,樣品區 25mm*25mm,氣密腔室

定制型號

按客戶需求定制,適用≤300mm晶圓樣品

典型應用

 

表征薄膜、二維材料、納米材料和分子/有機材料器件的電性能測試

需要加熱塊表面電接地、接同軸BNC接口、三同軸BNC接口的

需要鎢錸探針、鈹銅探針或其他材料的探針的

需要從外部對臺體內探針進行XYZ移動的

晶圓、半導體器件、集成電路、印刷電路板、光伏板、LCD/LED測試

測量IV和CV特性、擊穿電壓、漏電流、電阻、介電常數和二極管效率

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