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产品详情

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圓形溫控晶圓夾盤系列

Instec的圓形溫控晶圓夾盤系統是為晶圓和半導體測試設計的。根據客戶的需求有不同尺寸、不同溫度段的型號供選。並有檯面電接地/電懸空,還有同軸/三同軸介面的細節差異。 溫控晶圓夾盤的檯面溫度梯度很低,並且厚度設計的很薄,可以集成進探針台。並且台體設有真空吸氣槽,可以利用負壓來吸附樣品。
细节展示:
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功能特點

 

結構緊湊,可集成到晶圓探針臺上,設計用於探針測試

可編程控溫,涵蓋不同溫度段(具體由型號而定)

適用不同尺寸晶圓的真空吸附槽設計

可降溫至 80K

可選三同軸接口,以實現pA級測試

可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK

*可做定制或改動,詳詢sungame集团

技術參數

 

臺面選項

標準:本色氧化

可選:鍍金

晶圓樣品真空吸附

多個獨立的真空吸附通道

可定制真空吸附方案

晶圓頂桿

默認無,可定制

底座冷卻

可通循環水,以維持底座溫度在常溫附近

安裝

可集成到探針臺上,可定制安裝支架

臺面電位

電接地(R),電懸空(RF),可選三同軸(RT)

BNC接口

同軸,電懸空 或 三同軸

傳感器/溫控方式

100Ω鉑RTD / PID控制(含LVDC降噪電源)

溫度分辨率

0.01℃

溫度穩定性

±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃)

溫度均勻性

全臺面 ±2%

臺面平面度

±25um

軟件功能

可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線

配置列表

 

基本配置

溫控晶圓卡盤 、mK2000B溫控器

可選配件

安裝支架 、液氮制冷系統 、外殼循環水冷系統

選型表

 

型號

臺體尺寸

適用樣品尺寸

重量

kg

溫控 *負溫需液氮系統

變溫速度

加熱

制冷

HCC206R/RF

200    mm x 176 mm x 32.62 mm

45mm

150mm

2.0

-100°C

200°C

+30°C/min

-15°C/min

HCC206RT

200 mm x    176 mm x 32.62 mm

45mm

150mm

2.5

-80°C

200°C

+15°C/min

-8°C/min

HCC306R/RF

200    mm x 176 mm x32.62 mm

45mm

150mm

2.0

-100°C

300°C

+30°C/min

-15°C/min

HCC306RT

200    mm x 176 mm x32.62 mm

45mm

150mm

2.5

-80°C

300°C

+15°C/min

-8°C/min

HCC208R/RF

250 mm x    200 mm x 32.5 mm

100mm

200mm

3.5

-80°C

200°C

+50°C/min

-5°C/min

HCC208RT

250 mm x    200 mm x 32.5 mm

100mm

200mm

4.0

-80°C

200°C

+15°C/min

-3.5°C/min

HCC308R/RF

250 mm x    200 mm x 32.5 mm

100mm

200mm

3.5

-80°C

300°C

+50°C/min

-5°C/min

HCC308RT

250 mm x    200 mm x 32.5 mm

100mm

200mm

4.0

-80°C

300°C

+15°C/min

-3.5°C/min

HCC20CR/RF

365 mm x    325 mm x 40 mm

100mm

300mm

8.0

-60°C

200°C

+15°C/min

-1.5°C/min

HCC20CRT

365 mm x    325 mm x 40 mm

100mm

300mm

10.0

-60°C

200°C

+12°C/min

-1.2°C/min

HCC30CR/RF

365 mm x    325 mm x 40 mm

100mm

300mm

8.0

-60°C

300°C

+15°C/min

-1.5°C/min

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