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产品详情

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HCC602 溫控晶圓夾盤

支持600℃的樣品溫控
细节展示:
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產品簡介

 

可編程精密控溫。可獨立控制,也可從可以直接發出操控命令的電腦軟件控制

小尺寸型號

可做改動或定制,詳詢sungame集团

 

功能特點

 

加熱塊材質

銀質

晶圓真空吸附

獨立真空吸附通道

可定制真空吸附孔

底殼制冷

可選制冷系統

安裝

可集成進探針臺

可定制安裝支架

臺面電位

接地

溫度控制

可編程精密PID溫控 mK2000溫控器

可選LVDC(變直流)式低噪PID溫控

溫度傳感器

100Ω鉑質RTD

溫度分辨率

0.01

溫度穩定性

±0.05℃(>25℃);±0.1℃(<25℃)

電源規格

通用電源輸入

軟件

WinTemp (溫控+記錄溫度曲線)

 

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